重大消息！工信部直接發(fā)文推廣國產(chǎn)光刻機(jī)，這證明商用很成功
時間：2024-09-15 10:47 來源：今日頭條 責(zé)任編輯：毛青青
原標(biāo)題：重大消息！工信部直接發(fā)文推廣國產(chǎn)光刻機(jī)，這證明商用很成功
內(nèi)容中提到“氟化氬光刻機(jī)（ArF DUV）”，分辨率≤65nm，套刻≤8nm。
所謂套刻精度，就是常說的“多重曝光能達(dá)到的 精度”。
如果按套刻精度與量產(chǎn)工藝1：3的關(guān)系，那么這個光刻機(jī)大概可以量產(chǎn)28nm工藝的芯片。
這也就說明，國產(chǎn)28nm光刻機(jī)已經(jīng)被攻克下來。
雖然跟國外先進(jìn)制程水平還有差距，但至少能滿足90%以上的需求。
投稿郵箱：chuanbeiol@163.com 詳情請訪問川北在線：http://dstuf.com/
川北在線-川北全搜索版權(quán)與免責(zé)聲明
①凡注明"來源：XXX(非在線)"的作品，均轉(zhuǎn)載自其它媒體，轉(zhuǎn)載目的在于傳遞更多信息，并不代表本網(wǎng)贊同其觀點和對其真實性負(fù)責(zé)，本網(wǎng)不承擔(dān)此類稿件侵權(quán)行為的連帶責(zé)任。
②本站所載之信息僅為網(wǎng)民提供參考之用，不構(gòu)成任何投資建議，文章觀點不代表本站立場，其真實性由作者或稿源方負(fù)責(zé)，本站信息接受廣大網(wǎng)民的監(jiān)督、投訴、批評。
③本站轉(zhuǎn)載純粹出于為網(wǎng)民傳遞更多信息之目的，本站不原創(chuàng)、不存儲視頻，所有視頻均分享自其他視頻分享網(wǎng)站，如涉及到您的版權(quán)問題，請與本網(wǎng)聯(lián)系，我站將及時進(jìn)行刪除處理。
