氣浮式轉(zhuǎn)臺是超精密機(jī)械中的一種典型結(jié)構(gòu)，從誕生之日起就一直受到世人的關(guān)注，它為微光刻技術(shù)、數(shù)控加工、生物技術(shù)、納米表面形貌測量、高精密機(jī)床研發(fā)等領(lǐng)域提供一個能夠?qū)崿F(xiàn)超精密定位、檢測和 運(yùn)動的載物平臺，為開展超精密加工工藝技術(shù)研究拓展了領(lǐng)域，能解決高精度零件在加工、檢測等方面的難題。
中國科學(xué)院光電技術(shù)研究所精密機(jī)械制造中心借助部門多年的精密機(jī)械加工及裝配經(jīng)驗(yàn)，采用最優(yōu)參數(shù)及合理的精度分配完成了前期的設(shè)計(jì)工作，搭建了氣浮轉(zhuǎn)臺精度檢測平臺，最終成功研制出一臺直徑200mm的氣浮轉(zhuǎn)臺，由此掌握了氣浮轉(zhuǎn)臺從設(shè)計(jì)到制造的全套技術(shù)。
在研究所專項(xiàng)基金支持下，精密機(jī)械制造中心2009年成立氣浮攻關(guān)團(tuán)隊(duì)開展氣浮轉(zhuǎn)臺研制工作。研究團(tuán)隊(duì)對高壓氣體的流動規(guī)律、壓力分布、轉(zhuǎn)臺精度分離方法等進(jìn)行了充分研究。搭建節(jié)流器性能實(shí)驗(yàn)平臺，研究其影響因素——高壓氣膜的壓力分布、氣源壓力、節(jié)流器直徑、節(jié)流器數(shù)量、均壓槽深度等，找到了最優(yōu)氣膜剛度時的參數(shù)區(qū)間。在氣浮轉(zhuǎn)臺研制上取得了關(guān)鍵技術(shù)突破，為高精度零件的加工與檢測、超精密加工工具的研制奠定了技術(shù)基礎(chǔ)。
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